1、溫度穩(wěn)定性好
電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),這有利于挑選溫度系數(shù)低的材料,又因本身發(fā)熱極小,影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有銅損,易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。
2、結(jié)構(gòu)簡略
電感式傳感器結(jié)構(gòu)簡略,易于制作和確保高的精度,可以做得非常細(xì)巧,以實(shí)現(xiàn)某些特別的丈量;能作業(yè)在高溫,強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場等惡劣的環(huán)境中,可以接受很大的溫度改變,接受高壓力,高沖擊,過載等;能丈量超高溫文低壓差,也能對帶磁作業(yè)進(jìn)行丈量。
3、動(dòng)態(tài)呼應(yīng)好
電感式傳感器因?yàn)閹щ姌O板間的靜電引力很小(約幾個(gè)10^(-5)N),需求的作用能量極小,又因?yàn)樗目蓜?dòng)部分可以做得很小很薄,即質(zhì)量很輕,因而其固有頻率很高,動(dòng)態(tài)呼應(yīng)時(shí)間短,能在幾兆赫茲的頻率下作業(yè),特別適用于動(dòng)態(tài)丈量。又因?yàn)槠浣橘|(zhì)損耗小可以用較高頻率供電,因而體系作業(yè)頻率高。它可用于丈量高速改變的參數(shù)。
4、可以非接觸丈量且靈敏度高
可非接觸丈量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心率、小型滾珠軸承的徑向空隙等。當(dāng)選用非接觸丈量時(shí),電容式傳感器具有均勻效應(yīng),可以減小工件表面粗糙度等對丈量的影響。